| Термин | Буквенное обозначение | Определение |
| 1. Электронный микроскоп D. Elektronenmikroskop | - | Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики |
| Е. Electron Microscope | | |
| F. Microscope | | |
| ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ |
| 2. Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект |
| Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп | | |
| D. Durchstrahlungs-Elektronenmicroskop | | |
| Е. Transmission electron microscope | | |
| 3. Растровый электронный микроскоп (РЭМ) | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом |
| Ндп. Сканирующий электронный микроскоп | | |
| D. Rasterelelektronenmikroskop | | |
| Е. Scanning electron microscope | | |
| 4. Отражательный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом |
| D. Reflexions-Eletronenmikroskop | | |
| Е. Reflection electron microscope | | |
| 5. Эмиссионный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом |
| D. Emissions-Elektronenmikroskop | | |
| Е. Emission electron microscope | | |
| 6. Зеркальный электронный микроскоп | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала |
| D. Spiegelelektronenmikroskop | | |
| Е. Mirror electron microscope | | |
| 7. Автоэлектронный проектор Ндп. Микропроектор | - | Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электрического поля |
| Микроскоп-проектор | | |
| КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ |
| 8. Электронная пушка электронного микроскопа | - | Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе |
| Электронная пушка | | |
| D. Elektronenstranhler | | |
| Е. Electron gun | | |
| 9. Электронное зеркало D. Elektronenspiegel | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное |
| Е. Electron mirror | | |
| 10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ) | - | Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом |
| 11. Электронная линза электронного микроскопа | - | Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе |
| Линза | | |
| D. Elektronenlinse | | |
| Е. Electron lens | | |
| 12. Магнитная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем |
| Магнитная линза | | |
| D. Magnetische Linse | | |
| Е. Magnetic lens | | |
| 13. Электростатическая линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем |
| Электростатическая линза | | |
| D. Elecktrische Linse | | |
| Е. Electric lens | | |
| 14. Формирующая линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта |
| 15. Конденсаторная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект |
| Конденсор | | |
| D. Kondensorlinse | | |
| Е. Condenser lens | | |
| 16. Двойной конденсатор электронного микроскопа Двойной конденсор | - | Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект |
| D. Doppelkondensor | | |
| Е. Double condenser | | |
| 17. Объективная линза электронного микроскопа | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта |
| Объектив | | |
| D. Objektivlinse | | |
| Е. Objective lens | | |
| 18. Дифракционная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы |
| 19. Промежуточная линза электронного микроскопа Промежуточная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы |
| D. Zwischenlinse | | |
| Е. Intermediate lens | | |
| 20. Проекционная линза электронного микроскопа Проекционная линза | - | Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины |
| Ндп. Проектив | | |
| D. Projektiv | | |
| Е. Projector | | |
| 21. Регистрирующая система электронного микроскопа | - | Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе |
| Регистрирующая система | | |
| 22. Фотокамера электронного микроскопа Фотокамера | - | Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках |
| D. Aufnahmekammer | | |
| Е. Photographic chamber | | |
| 23. Вакуумная система электронного микроскопа | - | Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе |
| Вакуумная система | | |
| D. Vakuumanlage | | |
| Е. Vacuum system | | |
| 24. Юстировочная система электронного микроскопа Юстировочная система | - | Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа |
| 25. Отклоняющая система электронного микроскопа Отклоняющая система | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями |
| D. Ablenksystem | | |
| Е. Deflection system | | |
| 26. Стигматор D. Stigmator | - | Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма |
| E. Stigmator | | |
| 27. Полюсный наконечник электронного микроскопа | - | Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой области |
| Полюсный наконечник | | |
| D. Polschuh | | |
| E. Pole piese | | |
| 28. Колонна электронного микроскопа Колонна | - | Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа |
| D. Mikroskoprohr | | |
| E. Microscope column | | |
| 29. Шлюзовое устройство электронного микроскопа Шлюз | - | Устройство, предназначенное для ввода и вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума |
| D. Schleuse | | |
| E. Airlock | | |
| ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ |
| 30. Светлопольное изображение D. Hellfeldabbildung E. Bright-field image | - | Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы |
| 31. Темнопольное изображение D. Dunkelfeldabbildung | - | Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками |
| E. Dark-field image | | |
| 32. Микродифракция D. Feinbereichsbeugung E. Selected ared diffraction | - | Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа |
| ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ |
| 33. Изображение во вторичных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта |
| D. Abbildung mit | | |
| E. Secondary-Emission mobe | | |
| 34. Изображение в отраженных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов |
| D. Abbildung mit | | |
| Е. Backscackscattered Electron mode | | |
| 35. Изображение в поглощенных электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом |
| D. Abbildung mit | | |
| E. Absorbed specimen current mode | | |
| 36. Катодолюминесцентное изображение D. Abbildung mit Kathodolumineszenz | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом |
| E. Cathodoluminescence mode | | |
| 37. Изображение в наведенном электронным зондом токе D. Abbildung mit induzierten | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда |
| E. Induced current mode | | |
| 38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом |
| 39. Изображение в Оже-электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов |
| 40. Изображение в прошедших электронах | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект |
| 41. Изображение картин каналирования электронов D. Abbildung mit Channelling Diagrammen | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте |
| E. Electron Channeling Pattern mode | | |
| 42. Изображение при Y-модуляции | - | Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки |
| ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ |
| 43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами |
| 44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами |
| 45. Изображение в термоэлектронах | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов, испускаемых объектом при нагревании |
| 46. Изображение в фотоэлектронах | - | Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов, испускаемых объектом под действием оптического излучения |
| ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ |
| 47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа | | Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа |
| Ускоряющее напряжение | | |
| D. Beschleunigungsspannung | | |
| E. Accelerating voltage | | |
| 48. Нестабильность напряжения электронного микроскопа Нестабильность напряжения | | Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени |
| 49. Нестабильность тока электронного микроскопа | | Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени |
| Нестабильность тока | | |
| 50. Электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа D. Elektronenoptische | | Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта |
| E. Electron optical magnification | | |
| 51. Общее увеличение D. | | Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа |
| E. Total magnification | | |
| 52. Разрешающая способность электронного микроскопа | | Наименьшее расстояние между двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе |
| D. | | |
| Е. Resolving power | | |
| 53. Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке | | Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно в электронном микроскопе |
| D. Netzebenenabbildung | | |
| Е. Lattice plane resolution | | |
| 54. Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам | | Наименьшее расстояние между двумя микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе |
| D. | | |
| Е. Point resolution | | |
| 55. Электронная яркость D. Richtsrtahlwert | | Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади облучаемой поверхности |
| Е. Brightnes | | |
| 56. Апертурный угол формирующей линзы | | Половина угла расхождения траекторий электронов в электронном зонде |
| 57. Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа | | Половина угла расхождения траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение |
| Апертурный угол объективной линзы | | |
| 58. Апертурный угол осветительной системы электронного микроскопа | | Половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект |
| Апертурный угол осветительной системы | | |
| ВКУ | 10 |
| Зеркало электронное | 9 |
| Изображение в наведенном электронном зондом токе | 37 |
| Изображение во вторичных электронах | 33 |
| Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке | 43 |
| Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке | 44 |
| Изображение в Оже-электронах | 39 |
| Изображение в отраженных электронах | 34 |
| Изображение в поглощенных электронах | 35 |
| Изображение в прошедших электронах | 40 |
| Изображение в рентгеновском характеристическом излучении | 38 |
| Изображение в термоэлектронах | 45 |
| Изображение в фотоэлектронах | 46 |
| Изображение картин каналирования электронов | 41 |
| Изображение катодолюминесцентное | 36 |
| Изображение при -модуляции | 42 |
| Изображение светлопольное | 30 |
| Изображение темнопольное | 31 |
| Колонна | 28 |
| Колонна электронного микроскопа | 28 |
| Конденсор | 15 |
| Конденсор двойной | 16 |
| Конденсор электронного микроскопа двойной | 16 |
| Линза | 11 |
| Линза дифракционная | 18 |
| Линза магнитная | 12 |
| Линза проекционная | 20 |
| Линза промежуточная | 19 |
| Линза формирующая | 14 |
| Линза электронного микроскопа конденсорная | 15 |
| Линза электронного микроскопа магнитная | 12 |
| Линза электронного микроскопа объективная | 17 |
| Линза электронного микроскопа проекционная | 20 |
| Линза электронного микроскопа промежуточная | 19 |
| Линза электронного микроскопа электронная | 11 |
| Линза электронного микроскопа электростатическая | 13 |
| Линза электростатическая | 13 |
| Микродифракция | 32 |
| Микропроектор | 7 |
| Микроскоп-проектор | 7 |
| Микроскоп электронный | 1 |
| Микроскоп электронный зеркальный | 6 |
| Микроскоп электронный отражательный | 4 |
| Микроскоп электронный просвечивающий | 2 |
| Микроскоп электронный растровый | 3 |
| Микроскоп электронный сканирующий | 3 |
| Микроскоп электронный трансмиссионный | 2 |
| Микроскоп электронный эмиссионный | 5 |
| Наконечник полюсный | 27 |
| Наконечник электронного микроскопа полюсный | 27 |
| Напряжение ускоряющее | 47 |
| Напряжение электронного микроскопа ускоряющее | 47 |
| Нестабильность напряжения | 48 |
| Нестабильность напряжения электронного микроскопа | 48 |
| Нестабильность тока | 49 |
| Нестабильность тока электронного микроскопа | 49 |
| Объектив | 17 |
| Проектив | 20 |
| Проектор автоэлектронный | 7 |
| Пушка электронная | 8 |
| Пушка электронного микроскопа электронная | 8 |
| ПЭМ | 2 |
| РЭМ | 3 |
| Система вакуумная | 23 |
| Система отклоняющая | 25 |
| Система регистрирующая | 21 |
| Система электронного микроскопа вакуумная | 23 |
| Система электронного микроскопа отклоняющая | 25 |
| Система электронного микроскопа регистрирующая | 21 |
| Система электронного микроскопа юстировочная | 24 |
| Система юстировочная | 24 |
| Способность электронного микроскопа по кристаллической решетке разрешающая | 53 |
| Способность электронного микроскопа по точкам разрешающая | 54 |
| Способность электронного микроскопа разрешающая | 52 |
| Стигматор | 26 |
| Увеличение общее | 51 |
| Увеличение электронного микроскопа электронно-оптическое | 50 |
| Угол объективной линзы апертурный | 57 |
| Угол объективной линзы электронного микроскопа апертурный | 57 |
| Угол осветительной системы апертурный | 58 |
| Угол осветительной системы электронного микроскопа апертурный | 58 |
| Угол формирующей линзы апертурный | 56 |
| Устройство растрового электронного микроскопа видеоконтрольное | 10 |
| Устройство электронного микроскопа шлюзовое | 29 |
| Фотокамера | 22 |
| Фотокамера электронного микроскопа | 22 |
| Шлюз | 29 |
| Яркость электронная | 55 |