СССР
Государственный стандарт от 31 марта 1982 года № ГОСТ 25196-82

ГОСТ 25196-82 (СТ СЭВ 2760-80) Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Принят
Государственным комитетом СССР по стандартам
31 марта 1982 года
    ГОСТ 25196-82
    (СТ СЭВ 2760-80)
    Группа Э71
    ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
    ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
    Общие технические требования
    Vacuum equipement. Apparatus for ion implantation. General technical requirement
    ОКП 62 7335
    Дата введения 1983-07-01
    Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. N 1383 срок действия установлен с 01.07.1983 г. до 01.07.1988 г.*

    _______________
    * Ограничение срока действия снято по протоколу Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 2, 1993 год). - Примечание изготовителя базы данных.


    1.Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее - установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,660 57·10 до 217,534 67·10 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6·10 до 1,6·10 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.
    Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760-80.
    2.Технические требования к установкам - по ГОСТ 24686-81.
    3.Установки должны обеспечивать один из режимов обработки изделий:
    поштучный;
    групповой;
    комбинированный.
    4.Число пластин, обрабатываемых за один цикл на установке, должно быть кратным 25.
    5.Предельное остаточное давление в установке должно быть не более 1,3·10 Па.
    6.Минимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,01; 0,1; 1; 10; 100; 500; 1000 мкА.
    7.Максимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,03; 0,1; 0,5; 1; 2; 5; 10 мА.
    8.Неравномерность дозы имплантации следует выбирать из ряда: 0,5; 1; 2; 4%.
    9.Показатели надежности установок следует определять наработкой на отказ, средним временем восстановления и средним ресурсом в соответствии с ГОСТ 24786-81.
    Наработку на отказ следует выбирать из ряда: 100, 125, 160, 200, 250, 400, 500, 630, 800, 1000 ч.
    Среднее время восстановления должно быть не более 4 ч.
    Средний ресурс следует выбирать из ряда: 5000, 5600, 6300, 7100, 8000, 9000, 10000 ч.