СССР
Государственный стандарт от 01 января 1986 года № ГОСТ 26239.0-84

ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа

Принят
Государственным комитетом СССР по стандартам
13 июля 1984 года
Разработан
Министерством цветной металлургии СССР
01 января 1986 года
    ГОСТ 26239.0-84
    Группа В59
    ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
    КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
    Общие требования к методам анализа
    Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis
    ОКСТУ 1709
    Срок действия с 01.01.86
    до 01.01.91*

    _________________________________
    * Ограничение срока действия снято
    по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
    по стандартизации, метрологии и сертификации
    (ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.


    РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР
    ИСПОЛНИТЕЛИ
    Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова
    ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
    Член Коллегии А.П.Снурников
    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490
    1.Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения (технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.
    2.Общие требования к методам анализа по ГОСТ 26239.0-84 (СТ СЭВ 314-76).
    3.Отбор и подготовку проб к анализу проводят по нормативно-технической документации.
    4.Анализируемые пробы и материалы, используемые для приготовления образцов сравнения и стандартных растворов, взвешивают с погрешностью не более 0,0002 г.
    5.Для взятия навесок используют аналитические лабораторные весы типа ВЛА-200-М или ВЛР-20Г, технические весы ВПТ-1, торсионные весы ВТ-500 по ГОСТ 13718-68 или аналогичных типов.
    6.Для нагревания растворов применяют электрическую плитку с закрытой спиралью по ГОСТ 14919-83.
    7.Для приготовления растворов и проведения анализов применяют дистиллированную воду по ГОСТ 6709-72 и реактивы квалификации не ниже ч.д.а., если не указана другая.
    8.Для проведения анализа применяют мерную лабораторную посуду не ниже второго класса точности по ГОСТ 20292-74* (бюретки, пипетки) и ГОСТ 1770-74 (цилиндры, мензурки, колбы), а также стеклянную посуду (стаканы, конические колбы и др.) по ГОСТ 25336-82, тигли фарфоровые по ГОСТ 9147-80, тигли кварцевые по ГОСТ 19908-80**, воронки стеклянные делительные и конические по ГОСТ 25336-82, бюксы стеклянные по ГОСТ 25336-82, эксикаторы по ГОСТ 25336-82, посуду из стеклоуглерода марки СУ-2000.

    ________________
    * На территории Российской Федерации действуют ГОСТ 29169-91, ГОСТ 29227-91-ГОСТ 29229-91, ГОСТ 29251-91-ГОСТ 29253-91;
    ** На территории Российской Федерации действует ГОСТ 19908-90. - Примечание изготовителя базы данных.


    9.Допускается применение другой аппаратуры, материалов, посуды и реактивов, при условии получения метрологических характеристик, не хуже указанных в соответствующих стандартах на методы анализа.
    10.В стандартах на методы анализа указаны величины допускаемых расхождений при доверительной вероятности 0,95 или 0,90 для нескольких значений массовых долей. Допускаемые расхождения для промежуточных значений рассчитывают методом линейной интерполяции.
    11.Проверку правильности результатов анализа полупроводникового кремния или исходных продуктов для его получения проводят не реже одного раза в месяц и не менее раз в месяц, где - число проб, проанализированных за месяц, с использованием той же аппаратуры, реактивов и материалов.
    12.Правильность результатов анализа контролируют способами, указанными в соответствующих государственных стандартах на методы анализа.
    13.Требования безопасности при проведении анализов полупроводникового кремния и исходных продуктов его получения - по нормативно-технической документации. Порядок и виды обучения работников безопасности труда проводят в соответствии с ГОСТ 12.0.004-79*.

    ________________
    * На территории Российской Федерации действует ГОСТ 12.0.004-90. - Примечание изготовителя базы данных.