СССР
Государственный стандарт от 01 июля 1985 года № ГОСТ 26004-83

ГОСТ 26004-83 Круги алмазные отрезные с внутренней режущей кромкой. Технические условия (с Изменением N 1)

Принят
Государственным комитетом СССР по стандартам
14 декабря 1983 года
Разработан
Министерством станкостроительной и инструментальной промышленности СССР
01 июля 1985 года
    ГОСТ 26004-83
    Группа Г25
    ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
    КРУГИ АЛМАЗНЫЕ ОТРЕЗНЫЕ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ
    Технические условия
    Diamond cut-off wheels with interior cuts.
    Specifications
    ОКП 39 7146
    Срок действия с 01.07.85
    до 01.07.90*
    в части кругов с 206 мм, 0,12 мм с 01.07.86
    _______________________________
    * Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93
    Межгосударственного Совета по стандартизации,
    метрологии и сертификации (ИУС N 4, 1994 год). -
    Примечание изготовителя базы данных.
    РАЗРАБОТАН Министерством станкостроительной и инструментальной промышленности
    ИСПОЛНИТЕЛИ
    Р.Ф.Кохан, В.В.Журавлев, И.Г.Калинина, Р.Н.Мишакова
    ВНЕСЕН Министерством станкостроительной и инструментальной промышленности
    Зам. министра Н.А.Паничев
    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 14 декабря 1983 г. N 5896
    ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.01.89 N 128 с 01.07.90
    Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 4, 1989 год
    Настоящий стандарт распространяется на алмазные отрезные круги с внутренней режущей кромкой для резки полупроводниковых материалов, кварца, сапфира, керамики, изготовляемые для нужд народного хозяйства и экспорта.
    якорь
    1.РАЗМЕРЫ
    1.1.Размеры кругов должны соответствовать указанным на черт.1-3 и в табл.1, 2.
    якорь
    Черт.1. D=206, 305 и 380 мм
    206, 305 и 380 мм

    1 - корпус; 2 - алмазоносный слой
    Черт.1
    Таблица 1
    Размеры в мм
    +0,1 ±0,1 +0,36 ±5' ±5'
    Номин. Пред. откл. Номин. Пред. откл.
    206 -0,46 83 0,20 +0,03 -0,01 193 8 16 11°15' 22°30' 337°30'
    118 ±0,03
    0,45 ±0,05
    305 -0,52 100 0,20 +0,03 -0,01 285,5 7 32 5°37'30" 11°15' 348°45'
    0,25 ±0,02
    0,45 ±0,05
    380 -0,57 130 0,20 +0,03 -0,01 360
    0,25 ±0,02

    Пример условного обозначения круга диаметром 305 мм, толщиной режущей кромки 0,45 мм, из алмазных порошков марки А5, зернистостью 125/100:
    Круг 305х0,45 A5 125/100 ГОСТ 26004-83
    якорь
    Черт.2. D=422, 546 и 560 мм
    422, 546, 560 и 597 мм

    1 - корпус; 2 - алмазоносный слой
    Черт.2
    Таблица 2
    Размеры в мм
    +0,1 ±0,1 ±0,01 +0,36 ±5'
    Номин. Пред. откл. Номин. Пред. откл. Номин. Пред. откл.
    422 -0,63 (136) 0,32 ±0,02 409,6 409,58 7,6 36 5° ±2'30" 10° 350°
    0,36
    0,45 ±0,05
    152 0,25 ±0,02
    0,28
    0,30
    0,32
    0,45 ±0,05
    184 0,25 ±0,02
    546 -0,70 0,30 533,4 553,4 48 3°45' ±1'30" 7°30' 352°30'
    0,32
    0,36
    0,40
    560 0,45 ±0,05
    0,25 ±0,02 546,8 546,8
    0,30
    0,32
    0,40
    0,45 ±0,05
    203 0,25 ±0,02
    0,30
    0,32
    0,40
    0,45 ±0,05
    597 -0,7 0,32 ±0,02 571,5 571,5 8,7 45 4° 8° 352°
    0,36
    0,40
    0,45 ±0,05
    690 -0,8 271 0,45 665 665 7,5 75 6° 15° -
    307

    Примечание. Круги диаметром 690 мм должны изготовляться по рабочим чертежам, утвержденным в установленном порядке.
    Размер, заключенный в скобки, применять не рекомендуется.
    Пример условного обозначения круга диаметром 422 мм, толщиной режущей кромки 0,32 мм из алмазных порошков марки А5, зернистостью 50/40:
    Круг 422х0,32 А5 50/40 ГОСТ 26004-83
    якорь
    Черт.3. D=257 мм
    257 мм

    Рекомендуемый диаметр разрезаемого слитка - 40 мм.
    1 - корпус; 2 - алмазоносный слой
    Черт.3
    Условное обозначение круга диаметром 257 мм, толщиной режущей кромки 0,25 мм, из алмазных порошков марки AM, зернистостью 60/40:
    257х0,25 AM 60/40 ГОСТ 26004-83
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    якорь
    2.ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
    2.1.Круги должны изготовляться в соответствии с требованиями настоящего стандарта по рабочим чертежам, утвержденным в установленном порядке.
    2.2.Круг должен состоять из стального корпуса, на внутренней рабочей поверхности которого методом гальваностегии закреплен связкой алмазоносный слой.
    2.3.Алмазоносный слой должен состоять из алмазных порошков марок А2, А5, А8, AM, АН зернистостью 40/28, 60/40, 50/40 - для кругов с 0,36 мм и зернистостью 100/80, 125/100 - для кругов с 0,36 мм по ГОСТ 9206-80.
    По заказу потребителя допускается изготовление кругов из алмазных порошков других марок и зернистостей по отраслевой нормативно-технической документации.
    2.4.Алмазный порошок на рабочей поверхности круга должен быть равномерно распределен.
    2.5.Отслаивание алмазоносного слоя, а также наросты связки на его боковой поверхности не допускаются.
    2.6.Корпус круга должен быть изготовлен из высоконагартованной коррозионно-стойкой стальной ленты со следующими физико-механическими свойствами: временное сопротивление 1700 МПа, относительное удлинение 3%, анизотропия свойств в продольном и поперечном направлении проката - не более 7%.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    2.7.Толщина ленты: для резки сапфира - не более 0,2 мм; для резки кремния и германия кругами с 380 мм - 0,08-0,15 мм; кругами c 380 мм - 0,10-0,15 мм.
    2.8.На поверхности корпуса круга не допускаются трещины, сквозные проколы, заусенцы, прижоги, а также вмятины и царапины размером и количеством более указанных в ГОСТ 4986-79.
    2.9.Разность значений толщины алмазоносного слоя в одном круге не должна превышать 0,02 мм.
    2.10.Радиальное биение центрального отверстия корпуса круга относительно окружности - 0,04 мм.
    2.11.Эксплуатационные показатели качества кругов должны соответствовать указанным в табл.3 при условиях обработки указанных в обязательном приложении.
    Таблица 3
    Характеристика круга Разрезаемый материал Диаметр разре- заемого слитка, мм, не более Среднее количество резов до полного износа круга, не менее Допуск плоскост- ности пластин, мм Допуск парал- лельности поверхности пластин, мм Параметр шороховатости по ГОСТ 2789-73 отрезанной поверхности, мкм, не более
    206х0,45 А5 125/100 Лейкосапфир 20 35 0,03 0,04 2,5
    305х0,45 А5 125/100 45 30 0,05
    422х0,45 А5 125/100 76 25 0,05
    206х0,20 AM 60/40 Кремний 30 1200 0,02 1,25
    257х0,25 AM 60/40 40 1000
    305х0,25 AM 60/40 45 900
    380х0,25 AM 60/40 60 600
    422х0,32 А5 50/40 76 900
    546х0,32 А5 50/40 76 1000
    560х0,32 А5 50/40 76 1000
    якорь
    3.ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
    3.1.Для контроля соответствия кругов требованиям настоящего стандарта проводят приемочный контроль и периодические испытания.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.2.Приемочному контролю на соответствие требованиям пп.1.1 (размеры и ), 2.4, 2.5 (наросты связки), 2.8 и 2.9 подвергают каждый круг, на соответствие требованиям пп.1.1 (остальные размеры), 2.10 - 5% от партии, но не менее 2 кругов, на соответствие требованиям п.2.5 (отслаивание алмазоносного слоя) - 1 круг от партии.
    Партия должна состоять из кругов, изготовленных за один технологический цикл, в количестве не более 50 шт.
    3.3.Если при приемочном контроле установлено несоответствие требованиям стандарта более чем по одному контролируемому показателю, то партию не принимают.
    Если установлено несоответствие требованиям стандарта по одному из контролируемых показателей, то проводят повторный контроль на удвоенном количестве кругов.
    При наличии дефектов в повторной выборке партию не принимают.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.4.Периодическим испытаниям на соответствие требованиям п.2.11 подвергают круги, прошедшие приемочный контроль, в количестве не менее 25 шт. от партии не реже одного раза в год по ГОСТ 15.001-73*.

    ______________
    * На территории Российской Федерации действует ГОСТ Р 15.201-2000. - Примечание изготовителя базы данных.


    Допускается проведение испытаний у потребителя в производственных условиях.
    якорь
    4.МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ
    4.1.Геометрические параметры проверяют специальным мерительным инструментом.
    Толщину алмазоносного слоя измеряют не менее чем в 4 равноудаленных участках режущей кромки.
    4.2.Равномерность распределения алмазного порошка и отсутствие наростов контролируют осмотром и сравнением с контрольным образцом, утвержденным в установленном порядке.
    4.3.Отсутствие дефектов на корпусе круга проверяют наружным осмотром.
    4.4.Прочность сцепления алмазоносного слоя с корпусом контролируют методом изгиба по ГОСТ 9.302-79*.

    ______________
    * На территории Российской Федерации действует ГОСТ 9.302-88. - Примечание изготовителя базы данных.


    якорь
    5.МАРКИРОВКА, УПАКОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ
    5.1.На корпусе круга должны быть четко указаны:
    товарный знак предприятия-изготовителя;
    условное обозначение круга (кроме обозначения стандарта);
    номер партии.
    5.2.Круги одной партии должны упаковываться в потребительскую тару, изготовленную по чертежам предприятия-изготовителя. Между кругами и тарой должна быть вложена прокладка из картона по ГОСТ 9347-74 или ГОСТ 7933-75*, при этом круги должны быть переложены полиэтиленовой пленкой по ГОСТ 10354-82. Через каждые 5 кругов должна быть вложена прокладка из картона.

    ______________
    * На территории Российской Федерации действует ГОСТ 7933-89. - Примечание изготовителя базы данных.


    5.3.(Исключен, Изм. N 1).
    5.4.Потребительская тара должна быть плотно уложена в транспортную тару - фанерные ящики по ГОСТ 5959-80 или другую тару, обеспечивающую сохранность инструмента.
    5.5.Масса брутто - не более 10 кг.
    5.6.Круги должны транспортироваться почтовыми посылками.
    5.7.Условия транспортирования кругов в части воздействия климатических факторов - по группе ОЖ 4 ГОСТ 15150-69.
    5.8.Условия хранения кругов - по группе Л ГОСТ 15150-69.
    5.9.Остальные требования к упаковке, транспортированию и хранению по ГОСТ 18088-83.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    якорь
    ПРИЛОЖЕНИЕ (обязательное). УСЛОВИЯ ОБРАБОТКИ АЛМАЗНЫМИ ОТРЕЗНЫМИ КРУГАМИ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ
    ПРИЛОЖЕНИЕ
    Обязательное
    1.Испытания кругов в зависимости от их наружного диаметра проводят на полуавтоматических установках моделей 2405, Алмаз-4, Алмаз-6М или другом оборудовании, имеющем аналогичные технические характеристики.
    2.При испытании используют:
    приспособление для центровки алмазного круга;
    многооборотный индикатор с ценой деления 0,001 мм по ГОСТ 9696-82 на стойке с плоским столиком;
    динамометрический ключ или пневматический гайковерт;
    профилограф-профилометр;
    кремний марки КДБр-тип, ориентации 1-1-1;
    лейкосапфир.
    3.Перед началом испытаний установку проверяют на соответствие нормам точности, указанным в паспорте.
    Форма записи результатов проверки должна соответствовать табл.1.
    Таблица 1
    Уровень вибрации слитка и барабана станка Радиальное биение посадочного места барабана, мкм Торцевое биение посадочной поверхности, мкм Параметр шероховатости посадочной поверхности , мкм Непараллельность плоскости вращения направлению рабочей подачи, мкм Допуск плоскостности поверхности прижимного кольца, мкм Приме- чание

    4.После натяжения круга увеличение внутреннего диаметра не должно превышать 0,5-0,8%, а радиальное биение режущей кромки - 0,05 мм.
    5.Приработка кругов производится при резке 10-20 пластин со скоростью подачи круга в два раза меньшей, чем рабочая.
    6.Правку круга производят шлифовальными брусками по ГОСТ 2456-75* зернистостью не крупнее чем зернистость алмазного порошка в круге. Радиальное биение режущей кромки после правки - не более 0,03 мм.

    ______________
    * На территории Российской Федерации действует ГОСТ 2456-82. - Примечание изготовителя базы данных.


    7.Режимы резания:
    скорость вращения круга, при резке сапфира - не более 12 м/с; при резке кремния - не менее 17 м/с;
    скорость подачи круга при резке сапфира - 4-8 мм/мин; при резке кремния - 30-40 мм/мин.
    8.В качестве СОЖ применяют при резке сапфира - смесь воды и трансформаторного масла по ГОСТ 4753-68 в соотношении 1:1; при резке кремния - деионизированная вода или 1,0-2,5% водный раствор Аквол-II.
    Расход СОЖ при давлении 0,25-0,6 МРа должен быть 2-3 л/мин.
    Допускается применение других СОЖ, по своим свойствам, аналогичных указанным.
    9.Среднее количество резов круга определяется по количеству резов 25 кругов.
    10.Форма записи результатов испытаний должна соответствовать табл.2.
    Таблица 2
    NN пп Номер партии Наружный диаметр круга, мм Толщина режущей кромки, мм Марка и зернистость алмазного порошка Толщина корпуса, мм Радиальное биение режущей кромки, мкм Изменение диаметра центрального отверстия, мм Показания манометра, МРа

    Продолжение табл.2
    Режимы работы Ширина пропила
    частота вращения, мин скорость подачи, мм/мин СОЖ Диаметр слитка, мм после 200 резов после 1000 резов Количество резов Причина выхода круга из строя