-32300: transport error - HTTP status code was not 200

СССР
Государственный стандарт от 01 января 1983 года № ГОСТ 19658-81

ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)

Принят
Государственным комитетом СССР по стандартам
27 февраля 1981 года
Разработан
Министерством цветной металлургии СССР
01 января 1983 года
    ГОСТ 19658-81
    Группа В51
    МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
    КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ В СЛИТКАХ
    Технические условия
    Monocrystalline silicon in ingots. Specifications
    ОКП 17 7213
    Дата введения 1983-01-01
    ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
    1.РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР РАЗРАБОТЧИКИ
    В.С.Матвеев, канд. техн. наук; А.Г.Галканов; М.Б.Рейфман, канд. хим. наук; Л.И.Власова; Р.И.Генкина; И.П.Кагановский, канд. техн. наук; Л.В.Куликова; Л.В.Лайнер, канд. техн. наук; В.И.Маркова; А.И.Попов; Н.Н.Соловьев, канд. техн. наук; Б.М.Туровский, д-р техн. наук
    2.УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.02.81 N 1090
    3.ВЗАМЕН ГОСТ 19658-74
    4.ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
    Обозначение НТД, на который дана ссылка Номер пункта, приложения
    ГОСТ 2.004-88 1.1
    ГОСТ 61-75 Приложения 7, 8а, 9
    ГОСТ 334-73 Приложение 8
    ГОСТ 427-75 Приложение 1
    ГОСТ 701-89 Приложения 4, 8, 8а, 9
    ГОСТ 1367.0-83 Приложение 9
    ГОСТ 1770-74 Приложение 9
    ГОСТ 2263-79 Приложение 6
    ГОСТ 2548-77 Приложения 1, 4, 9
    ГОСТ 2567-89 Приложения 4, 9
    ГОСТ 2789-73 Приложение 3
    ГОСТ 2874-82 Приложения 8, 9
    ГОСТ 3647-80 Приложения 3, 6, 7, 8, 8а
    ГОСТ 3776-78 Приложения 4, 9
    ГОСТ 4160-74 Приложения 7, 8а
    ГОСТ 4220-75 Приложение 4
    ГОСТ 4461-77 Приложения 4, 7, 9
    ГОСТ 5017-74 Приложение 8
    ГОСТ 5959-80 4.5
    ГОСТ 5962-67 Приложения 3, 8
    ГОСТ 9206-80 Приложения 3, 4, 6, 7, 8, 8а, 9
    ГОСТ 9285-78 Приложение 6
    ГОСТ 9412-93 Приложения 3, 8
    ГОСТ 9696-82 Приложения 5, 7, 8а
    ГОСТ 10197-70 Приложение 5
    ГОСТ 10354-82 4.1
    ГОСТ 10484-78 Приложения 1, 4, 7, 8а, 9
    ГОСТ 11069-74 Приложение 8
    ГОСТ 11078-78 Приложение 6
    ГОСТ 11109-90 Приложение 5, 8
    ГОСТ 11125-84 Приложения 4, 8а, 9
    ГОСТ 12026-76 Приложения 3, 4, 5, 8, 9
    ГОСТ 12997-84 Приложения 7, 8а
    ГОСТ 14192-96 4.6
    ГОСТ 17299-78 Приложения 7, 8а
    ГОСТ 18270-72 Приложение 9
    ГОСТ 18300-87 Приложения 3, 7, 8, 8а
    ГОСТ 20477-86 4.2, 4.3
    ГОСТ 24392-80 Приложение 4
    ГОСТ 25593-83 Приложения 7, 8а
    ГОСТ 26239.1-84 3.8б
    ГОСТ 29298-92 Приложения 3, 7, 8а, 8, 9
    ГОСТ 29329-92 Приложения 4, 9
    ТУ 6-09-3401-70 Приложение 9
    ТУ 6-09-4015-78 Приложения 1, 9
    ТУ 25-10(АМЦ.778.019)-84 Приложение 3
    ТУ 25-10(АМЦ.778.020)-84 Приложение 3

    5.Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта от 12.05.92 N 480
    6.ИЗДАНИЕ с Изменениями N 1, 2, утвержденными в июле 1987 года, мае 1992 года (ИУС 11-87, 8-92)
    Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    1.ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
    1.1.Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1·10 см) по технологической документации.
    При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.
    Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.
    Таблица
    Удельное электрическое сопротивление (УЭС)
    Марка Группа Подгруппа Интервал номи- нальных значений УЭС, Ом·см Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, % Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, % Номинальный диаметр слитка, мм Базовая длина слитка, мм, не менее
    ЭКДБ 1 а 62,5 100
    б 0,005-20 78,5 150
    в 35 10 102,5 250
    г 127,5 250
    д 0,1-20 152,5 250
    2 а 62,5 100
    б 0,005-20 78,5 100
    в 25 10 102,5 200
    г 127,5 200
    д 0,1-20 152,5 250
    3 а 62,5 100
    6 0,005-20 78,5 100
    в 20 10 102,5 150
    г 0,1-20 127,5 200
    д 0,1-15 152,5 250
    4 а 62,5 100
    б 0,005-20 78,5 100
    в 15 10 102,5 150
    г 0,1-20 127,5 150
    д 0,1-15 152,5 200
    5 а 62,5 100
    б 20-40 35 15 78,5 150
    в 102,5 200
    г 127,5 250
    д 152,5 250
    6 а 62,5 100
    б 78,5 100
    в 20-40 25 15 102,5 200
    г 127,5 200
    д 152,5 250
    7 а 62,5 100
    б 20-40 20 15 78,5 100
    в 102,5 150
    г 127,5 150
    8 а 20-40 62,5 100
    б 20-40 20 10 78,5 100
    в 20-80 102,5 150
    г 20-40 127,5 150
    ЭКЭС 11 а 62,5 100
    б 0,01-1 35 20 78,5 150
    в 102,5 200
    12 а 62,5 100
    б 0,01-1 20 15 78,5 100
    ЭКЭФ 21 а 62,5 100
    б 78,5 150
    в 0,1-20 40 20 102,5 200
    г 127,5 200
    д 152,5 250
    22 а 62,5 100
    б 78,5 100
    в 0,1-20 30 15 102,5 200
    г 127,5 200
    д 152,5 250
    23 а 62,5 100
    б 0,1-20 78,5 100
    в 20 15 102,5 150
    г 0,1-15 127,5 150
    д 152,5 200
    24 а 62,5 100
    б 0,1-20 20 10 78,5 100
    в 102,5 150
    г 0,1-15 127,5 150
    д 152,5 200
    25 а 62,5 100
    б 78,5 150
    в 20-40 40 20 102,5 250
    г 127,5 250
    д 152,5 250
    26 а 62,5 100
    б 78,5 100
    в 20-40 30 15 102,5 200
    г 127,5 200
    д 152,5 250

    Примечания:
    1.Слитки с указанной базовой длиной должны составлять не менее 75% общего объема данной марки кремния.
    2.Минимальная длина слитков монокристаллического кремния не должна быть менее диаметра слитка.
    1.2.Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния - (111) или (100) индекс "м" и (013) индекс "э" для слитков кремния, легированных бором и фосфором, с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см.
    1.3.Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллических слитков кремния от заданной кристаллографической плоскости () не должен превышать 3°.
    1.4.Слитки должны быть монокристаллическими и не должны иметь внешних дефектов (сколов, раковин) размером более 3 мм, а также трещин. На торцевых срезах слитков допускаются фаски с линейными размерами не более 3 мм.
    1.5.Концентрация атомов оптически активного кислорода должна быть (2-9)·10 см в слитках кремния диаметром менее 150 мм и (2-10)·10 см в слитках кремния диаметром 150 и 152,5 мм при градуировочном коэффициенте, равном 2,45·10 см, вместо 3,3·10 см, указанном в приложении
    7. 
    1.1.-1.5. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    1.5а. Концентрация атомов оптически активного углерода должна быть не более 1·10 см в слитках кремния диаметром 78,5 мм и более, и не более 3·10 см в слитках кремния диаметром 62,5 мм.
    1.5б. Концентрация атомов каждой из микропримесей железа, золота и меди в слитках монокристаллического кремния должна быть не более 1·10 см.
    1.5а, 1.5б. (Введены дополнительно, Изм. N 1).
    1.6.Слитки кремния с удельным электрическим сопротивлением более 3,0 Ом·см должны иметь время жизни неосновных носителей заряда: для электронной электропроводности не менее 7,5 мкс, для дырочной электропроводности не менее 2,5 мкс.
    По требованию потребителя изготовляют слитки кремния, легированные бором или фосфором, с временем жизни неравновесных носителей заряда (н. н. з.), не менее:
    (2-30 мкс) - для слитков с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см (индекс "е");
    (16-60 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 4-15 Ом·см (индекс "р");
    (30-160 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 15-80 Ом·см (индекс "е").
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    1.7.Допускаемое предельное отклонение диаметра слитков кремния от номинального не должно превышать плюс 3 - минус 2 мм.
    1.8.Допускается обработка боковой поверхности слитков монокристаллического кремния при их доведении до заданного диаметра. Допускаются слитки кремния с протравленными торцами.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    1.9.По требованию потребителя слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,5 мм (индекс "").
    По согласованию изготовителя с потребителем слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,1 мм (индекс "").
    1.10.По требованию потребителя слитки кремния, легированного фосфором или бором, с удельным электрическим сопротивлением 0,3 Ом·см и более должны быть изготовлены без свирлевых дефектов (индекс "") - для слитков с ориентацией (100) и (013) и (индекс "") - для слитков с ориентацией (111).
    Плотность микродефектов, выявляемых травлением, не должна быть более 2·10 см для слитков с ориентацией (100) и (013) индекс "" и не более 3·10 см - для слитков с ориентацией (111) (индекс ""
    ).
    1.11.Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза, угол отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости, отсутствие внешних дефектов, концентрация оптически активных атомов кислорода и углерода, концентрация атомов микропримесей железа, золота и меди, плотность дислокаций, время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков без индексов "е" и "р") и отсутствие свирлевых дефектов для слитков с индексами " и " обеспечивается технологией изготовления.
    Условное обозначение слитков монокристаллического кремния должно содержать: марку кремния, номинальное значение удельного электрического сопротивления, группу, подгруппу по диаметру слитка, кристаллографическую ориентацию плоскости торцевого среза монокристаллического слитка, индексы и обозначение настоящего стандарта. Отсутствие индекса "м" или "э" означает кристаллографическую ориентацию плоскости торцевого среза слитка (111).
    Примеры условного обозначения:
    Кремний марки ЭКДБ с номинальным значением удельного электрического сопротивления 2 Ом·см, группы 1, подгруппы а, калиброванные с допуском 0,5 мм, с кристаллографической ориентацией плоскости торцевого среза монокристаллического слитка (111)
    ЭКДБ-2-1акГОСТ 19658-81
    Кремний марки ЭКЭФ с номинальным значением удельного электрического сопротивления 10 Ом·см, группы 6, подгруппы б, калиброванный с допуском 0,1 мм с кристаллографической ориентацией плоскости торцевого среза монокристаллического слитка (100), без свирлевых дефектов
    ЭКЭФ-20-6бкмсГОСТ 19658-81.
    1.8.-1.11. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    1.12.Коды ОКП приведены в приложении 1а.
    (Введен дополнительно, Изм. N 1).
    2.ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
    2.1.Каждый слиток кремния подвергают контролю, определяя тип электропроводности, удельное электрическое сопротивление, диаметр, длину и массу.
    Контроль обеспечиваемых технологией изготовления параметров должен проводиться периодически, не реже одного раза в шесть месяцев на одном слитке кремния.
    2.2.Каждый слиток монокристаллического кремния сопровождают документом о качестве, в котором указывают:
    товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;
    наименование продукции и ее марку;
    номер слитка;
    тип электропроводности;
    среднее значение удельного электрического сопротивления на каждом торце;
    величину относительного отклонения средних значений удельного электрического сопротивления торцов слитка от номинального значения;
    величину радиального относительного отклонения удельного электрического сопротивления от среднего значения по торцу слитка;
    время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков с индексами "е" и "р");
    длину и диаметр слитка, мм;
    массу нетто, г;
    дату изготовления;
    штамп технического контроля;
    обозначение настоящего стандарта.
    Разд.2. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ
    3.1.Проверку слитков кремния на монокристалличность и отсутствие внешних дефектов на поверхности проводят по методике, приведенной в приложении 1.
    3.2.Тип электропроводности определяют по методике, приведенной в приложении 2. Тип электропроводности слитков диаметром 152,5 мм определяют аналогично на прилегающих к каждому из торцов слитка отожженных шайбах (толщиной 4-30 мм).
    3.3.Удельное электрическое сопротивление измеряют на обоих торцах слитков монокристаллического кремния либо на прилегающих к каждому из торцов в отожженных шайбах в шести фиксированных точках в двух взаимно перпендикулярных направлениях по диаметру слитка по методике, приведенной в приложении 3.
    3.4.Плотность дислокаций определяют на нижнем торце слитка или на прилегающей к нему шайбе по методике, приведенной в приложении 4; для слитков диаметром 150 мм и более используется только неотожженная шайба.
    3.2.-3.4. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.5.Диаметр слитков измеряют в произвольно выбранных по окружности точках в любом месте по длине слитка с погрешностью не более 0,1 мм, а длину - с погрешностью не более 1 мм. Измерения проводят стандартным мерительным инструментом, обеспечивающим заданную точность измерения.
    3.6.Массу слитка определяют взвешиванием:
    до 2 кг - на весах, имеющих погрешность не более ±2 г;
    до 10 кг - на весах, имеющих погрешность не более ±5 г;
    до 30 кг - на весах, имеющих погрешность не более ±50 г.
    Допускается определение массы слитка расчетным путем, исходя из его объема и плотности кремния, равной 2,33 г·см. При возникновении разногласий в определении массы слитка ее определяют взвешиванием.
    3.7.Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния измеряют по методикам, приведенным в приложениях 5 и 6.
    Идентификацию кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния с заданной кристаллографической плоскостью проводят по методике, приведенной в приложении 5.
    3.8.Концентрацию атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния определяют по методике, приведенной в приложении 7. При расчете концентрации атомов оптически активного кислорода допускается использовать градуировочный коэффициент, равный 2,45·10 см.
    3.6.-3.8. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.8а. Концентрацию атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния определяют на нижнем торце слитка по методике, приведенной в приложении 8а.
    3.8б. Концентрацию атомов микропримесей железа, золота и меди определяют на нижнем торце слитка по ГОСТ 26239.1.
    3.8а, 3.8б. (Введены дополнительно, Изм. N 1).
    3.9.Время жизни неравновесных носителей заряда в слитках кремния измеряют на обоих торцах слитка в трех точках, одна из которых расположена в центре, а две другие - по диаметру на расстоянии 0,7 радиуса от центра, по методике, приведенной в приложении 8.
    3.10.Отсутствие свирлевых дефектов определяют по плотности микродефектов непосредственно на верхнем и нижнем торцах слитка или на прилегающих к каждому из торцов контрольных шайбах по методике, приведенной в приложении 9; для слитков диаметром 150 мм и более используются только неотожженные шайбы.
    3.9, 3.10. (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.11.Допускается контролировать электрофизические параметры слитков монокристаллического кремния диаметром 100; 102,5; 125; 127,5; 150 и 152,5 мм на шайбах, прилегающих к верхнему и нижнему торцам слитков. Для измерения удельного электрического сопротивления и типа проводимости шайбу предварительно подвергают термообработке.
    3.12.Отжиг шайб проводится при =600-700 °С в течение 20-60 мин с последующим охлаждением на воздухе.
    3.13.По требованию потребителя шайбы, на которых проводились измерения, поставляются вместе со слитком. Масса шайб входит в массу товарной продукции.
    3.11.-3.13. (Введены дополнительно, Изм. N 1).
    4.УПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ
    4.1.Каждый слиток кремния помещают в пакет из полиэтиленовой пленки по ГОСТ 10354.
    Допускается в пакет со слитком вкладывать документ о качестве.
    4.2.Полиэтиленовый пакет заваривают или заклеивают лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или лентой аналогичного типа и упаковывают в картонную или пластмассовую коробку с мягкой прокладкой.
    Допускается вкладывать документ о качестве в коробку со слитком.
    Коробку с крышкой перевязывают внахлестку полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или лентой аналогичного типа.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    4.3.Допускается другой вид упаковки: слиток кремния в заваренном полиэтиленовом пакете заворачивают в эластичный пенополиуретан или в другую мягкую упаковку и перевязывают внахлестку полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или другой лентой аналогичного типа. Упакованный таким образом слиток помещают в полиэтиленовый пакет, в который вкладывают с одной стороны этикетку, с другой - документ о качестве, после чего пакет заваривают.
    (Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
    4.4.На коробку наклеивают этикетку с указанием:
    наименования или товарного знака предприятия-изготовителя;
    наименования продукции;
    марки;
    номера документа о качестве;
    номера слитка;
    длины и диаметра слитка, мм;
    массы нетто, г;
    даты изготовления;
    фамилии и номера упаковщика;
    обозначения настоящего стандарта.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    4.5.Слитки кремния, упакованные в соответствии с требованиями пп.4.1-4.3, укладывают в дощатые или фанерные ящики по ГОСТ 5959.
    В каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с указанием:
    наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;
    массы нетто в килограммах;
    наименования продукции;
    количества слитков в ящике;
    даты упаковки;
    фамилии и номера упаковщика.
    Допускается указание в упаковочном листе дополнительных данных.
    Допускается упаковка слитков в многооборотную тару, изготовляемую по нормативно-технической документации.
    (Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
    4.6.Маркировка ящиков - по ГОСТ 14192 с нанесением предупредительных знаков:
    "Хрупкое. Осторожно";

    "Беречь от влаги";
    "Верх".
    4.7.Транспортирование слитков кремния проводят всеми видами транспорта в крытых транспортных средствах в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на данном виде транспорта.
    Допускается транспортировать слитки кремния почтовыми посылками. При транспортировании почтовыми посылками предупредительные знаки не наносят.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    4.8.Слитки кремния должны храниться в упаковке изготовителя в закрытых складских помещениях.
    5.ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ
    5.1.Изготовитель гарантирует соответствие слитков кремния требованиям настоящего стандарта при соблюдении условий их хранения в упаковке изготовителя.
    5.2.Гарантийный срок продукции - 1 год со дня изготовления.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).