| Термин | Определение |
| ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ |
| 1. Вакуум D. Vakuum Е. Vacuum F. Vide | Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного |
| 2. Вакуумная техника D. Vakuumtechnik Е. Vacuum technology F. Technique du vide | Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений |
| 3. Степень вакуума D. Vakuumbereiche Е. Ranges of vacuum F. Domaines de vide | Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса. Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума; от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума; от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума; ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума |
| 4. Вакуумное масло D. Е. Vacuum pump oil F. Huile de pompe vide primaire | Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах |
| ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ |
| 5. Вакуумная система D. Vakuumsystem Е. Vacuum system F. vide | Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов |
| 6. Вакуумная установка D. Vakuumanlage Е. Vacuum plant F. Installation de vide | Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие |
| 7. Вакуумный агрегат D. Vakuumeinheit Е. Vacuum unit F. vide | Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое |
| 8. Откачной пост D. Pumpstand Е. Pumping station F. Stand de pompage | Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий |
| 9. Откачиваемый вакуумный сосуд D. Vakuumkamer Е. Pumped container F. Enceinte | Сосуд, в котором создается вакуум |
| 10. Элемент вакуумной системы D. Vakuumsystemselement Е. Element of vacuum system F. Element du vide | - |
| 11. Вакуумный насос D. Vakuumpumpe Е. Vacuum pump F. Pompe vide | Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума |
| 12. Вакуумная ловушка D. Falle Е. Trap F. | Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления |
| 13. Вакуумный клапан D. Vakuumventil Е. Vacuum valve F. Soupape de vide | Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему |
| 14. Вакуумный затвор D. Vakuumschlensenventil Е. Vacuum gate valve F. | Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы |
| 15. Напускной вакуумный клапан D. Beluftungsvakuumventil Е. Admittance vacuum valve F. Robinet d'air | Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему |
| 16. Вакуумный натекатель D. Nadelvakuumventil E. Air admittance vacuum valve F. Robinet aiguille | Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки |
| 17. Вакуумный ввод D. E. Vacuum feedthrough F. Passage du vide | Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума |
| 18. Вакуумный трубопровод D. Vakuumrohrleitung E. Vacuum pipework F. Conduite vide | Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ |
| 19. Форвакуумный трубопровод D. Vorpumpenrohrleitung E. Backing line F. Conduite vide | Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу |
| 20. Байпасный трубопровод D. Umwegleitung E. Bypass line F. Conduite by-pass | Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос |
| 21. Вакуумное защитное устройство D. Vakuumsicherheitsvorrichtung E. Vacuum protective device F. Dispositif de | Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части |
| 22. Уравнительный вакуумный баллон D. Druckausgleichskolben E. Equal vessel F. Ballon de pression | Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней |
| ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ |
| 23. Низковакуумный насос D. Grobvakuumpumpe E. Rough vacuum pump F. Pompe vide primaire | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума |
| 24. Высоковакуумный насос D. Endvakuumpumpe E. High vacuum pump F. Pompe vide secondaire | Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов |
| 25. Форвакуумный насос D. Vorvakuumpumpe E. Backing vacuum pump F. Pompe primaire pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки |
| 26. Бустерный вакуумный насос D. Boostervakuumpumpe E. Booster vacuum pump F. Pompe vide | Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса |
| 27. Вакуумный насос предварительного разрежения D. Vorvakuumpumpe E. Roughing vacuum pump F. Pompe pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов |
| ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ |
| 28. Газоперекачивающий вакуумный насос D. Gastransfervakuumpumpe E. Pump for gas transporting F. Pompe vide du transport gazeus | Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля |
| 29. Механический вакуумный насос D. Rotationsvakuumpumpe E. Vacuum mechanical pump F. Pompe vide | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса |
| 30. Вакуумный насос объемного действия D. E. Positive displacement vacuum pump F. Pompe vide | Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу |
| 31. Поршневой вакуумный насос D. Hubkolbenvakuumpumpe Е. Piston vacuum pump F. Pompe vide piston alternatif | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня |
| 32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением D. (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump F. Pompe vide bain d'huile ( bain de liquide) | Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость |
| 33. Газобалластный вакуумный насос D. Gasballastvakuumpumpe Е. Gas ballast vacuum pump F. Pompe vide injection de gaz | Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе |
| 34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем D. Trockenlaufende Vakuumpumpe Е. Dry-sealed vacuum pump F. Pompe vide | Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения |
| 35. Вращательный вакуумный насос D. Е. Rotary vacuum pump F. Pompe vide tournant | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора |
| 36. Пластинчато-роторный вакуумный насос D. Drehschiebervakuumpumpe Е. Sliding vane rotary vacuum pump F. Pompe vide palettes | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом |
| 37. Пластинчато-статорный вакуумный насос D. Drehkolbenvakuumpumpe Е. Rotary piston vacuum pump F. Pompe vide piston tournant | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом |
| 38. Плунжерный вакуумный насос D. Sperrschiebervakuumpumpe Е. Rotary plunger vacuum pump F. Pompe vide piston oscillant | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора |
| 39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос D. Е. Liquid ring vacuum pump F. Pompe vide anneau liquide | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом |
| 40. Двухроторный вакуумный насос D. Е. Roots vacuum pump F. roots | Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях |
| 41. Трохоидный вакуумный насос D. Kreiskolbenvakuumpumpe Е. Trochoid pump F. Pompe trochoide | Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды |
| 42. Кинетический вакуумный насос D. Kinetische Vakuumpumpe Е. Kinetic vacuum pump F. Pompe vide | Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса |
| 43. Вакуумный турбонасос D. Turbovakuumpumpe Е. Turbine vacuum pump F. turbine | Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей |
| 44. Осевой вакуумный турбонасос D. Axialische Turbovakuumpumpe Е. Axial flow turbine vacuum pump F. turbine flux axial | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения |
| 45. Центробежный вакуумный турбонасос D. Radialische Turbovakuumpumpe Е. Radial flow turbine vacuum pump F. turbine flux radial | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении |
| 46. Струйный вакуумный насос D. Treibmittelvakuumpumpe Е. Jet kinetic vacuum pump F. Pompe vide jet | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа |
| 47. Жидкостно-струйный вакуумный насос D. Е. Liquid jet vacuum pump F. Pompe vide anneau liquide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости |
| 48. Газоструйный вакуумный насос D. Gasstrahlvakuumpumpe Е. Gas jet vacuum pump F. Ejecteur gaz pour Ie vide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа |
| 49. Пароструйный вакуумный насос D. Dampfstrahlvakuumpumpe Е. Vapour jet vacuum pump F. Ejecteur vapeur pour Ie vide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара |
| 50. Эжекторный вакуумный насос D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe Е. Ejector vacuum pump F. Pompe vide ejecteur | Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей |
| 51. Диффузионный вакуумный насос D. Diffusionsvakuumpumpe Е. Diffusion pump F. Pompe diffusion | Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю |
| 52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос D. Diffusionsjekterpumpe Е. Diffusion-ejector pump F. Pompe diffusion et ejecteur | Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей |
| 53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос D. Selbstreinigende Е. Self purifying diffusion pump F. Pompe diffusion autorectifiante | Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу |
| 54. Фракционный диффузионный вакуумный насос D. Fraktionierende Е. Fractionating diffusion pump F. Pompe diffusion fractionnante | Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара |
| 55. Ионный вакуумный насос D. lonentransferpumpe Е. Ion transfer vacuum pump F. Pompe ionisation vide | Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля |
| ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ |
| 56. Газоулавливающий вакуумный насос D. Gasbindende Vakuumpumре Е. Entrapment vacuum pump F. Pompe vide fixation | Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса |
| 57. Сорбционный вакуумный насос D. Sorptionspumpe Е. Sorption vacuum pump F. Pompe vide sorption | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа |
| 58. Адсорбционный вакуумный насос D. Adsorptionspumpe Е. Adsorption vacuum pump F. Pompe vide physisorption | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре |
| 59. Геттерный вакуумный насос D. Gettervakuumpumpe Е. Getter vacuum pump F. Pompe vide sorbeur | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером |
| 60. Испарительный геттерный вакуумный насос D. Sublimations getter vakuumpumpe Е. Sublimation vacuum pump F. Pompe vide sublimation sorbeur | Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера |
| 61. Геттерно-ионный вакуумный насос D. lonengettervakuumpumpe Е. Getter ion vacuum pump F. Pompe vide ionique sorbeur | Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера |
| 62. Испарительно-ионный вакуумный насос D. lonenverdampfervakuumpumpe Е. Sublimation ion vacuum pump F. Pompe vide ionique sublimation | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения |
| 63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос D. Е. Sputter ion pump F. Pompe ionique | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле |
| 64. Конденсационный вакуумный насос D. Kondensationspumpe Е. Condenserpump F. Pompe condenser | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях |
| 65. Вакуумный крионасос D. Kryovakuumpumpe Е. Cryopump F. Pompe cryostatique | Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур |
| 66. Комбинированный вакуумный насос D. Vakuumpumpkombination Е. Combined vacuum pump F. Pompe vide | Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе |
| ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК |
| 67. Конденсационная вакуумная ловушка D. Е. Cold trap F. refroidi | Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях |
| 68. Сорбционная вакуумная ловушка D. Sorptionsfalle Е. Sorption trap F. sorption | Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента |
| 69. Ионная вакуумная ловушка D. lonisierungsfalle Е. Ion trap F. ionique | Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация |
| ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ |
| 70. Быстрота откачки D. Е. Pumping rate F. | Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении |
| 71. Быстрота действия вакуумного насоса D. Е. Volume flow rate of vacuum pump F. d'une pompe vide | Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе |
| 72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса D. Startdruck Е. Starting pressure F. Pression d'amorcage | Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать |
| 73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса D. Maximal Vorvakuumdruck Е. Maximum backing pressure F. Pression maximale de refoulement | Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку |
| 74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса D. Maximaler Arbeitsdruck Е. Maximum working pressure F. Pression maximale de fonctiounement | Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия |
| 75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса D. Enddruck einer Vakuumpumpe Е. Ultimate pressure of vacuum pump F. Pression limite d'une pompe vide | Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе |
| 76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды D. Maximal Wasserdampf Е. Maximum rate of handling water vapour F. de pompage de vapeur d'eau admissible | Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях |
| 77. Наибольшее допустимое давление паров воды D. Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure F. Pression maximale d'aspiration de vapeur d'eau | Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях |
| 78. Степень сжатия вакуумного насоса D. Е. Compression ratio F. Taux de compression | Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия |
| ВАКУУММЕТРЫ |
| 79. Вакуумметр D. Vakuummeter Е. Vacuummeter F. vide | По ГОСТ 8.271-77 |
| 80. Абсолютный вакуумметр D. Absolutes Vakuummeter Е. Absolute vacuum gauge F. absolu | Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам |
| 81. Дифференциальный вакуумметр D. Differenzdruckvakuummeter Е. Differential vacuum gauge F. | Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента |
| 82. Измерительный преобразователь давления D. Druckmessunformer Е. Gauge pressure transducer F. Transducteur de mesure pression | По ГОСТ 8.271-77 |
| 83. Измерительный блок вакуумметра D. Betriebs und eines Е. Gauge control unit F. Coffret d'alimentation et de mesure | Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра |
| 84. Отсчетное устройство вакуумметра D. eines Е. Gauge indicating unit F. Dispositif indicateur | Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины |
| 85. Вакуумметр полного давления D. Totaldruckvakuummeter Е. Total pressure vacuum gauge F. de pression totale | Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси |
| 86. Жидкостный вакуумметр D. Е. Liquid level manometer F. liquide | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости |
| 87. U-образный вакуумметр D. U-leitung Vakuummeter Е. U-tube vacuum gauge F. Avec unetube en U- | Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости |
| 88. Компрессионный вакуумметр D. Kompressionsvakuummeter Е. Compression gauge F. compression | Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию |
| 89. Деформационный вакуумметр D. Federelastisches Vakuummeter Е. Elastic element gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления |
| 90. Мембранный вакуумметр D. Membranvakuummeter Е. Diaphragm gauge F. membrane | Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка |
| 91. Грузопоршневый вакуумметр D. Druckwaage Е. Pressure balance F. piston | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения |
| 92. Вязкостный вакуумметр D. Reibungsvakuummeter Е. Viscosity gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления |
| 93. Тепловой вакуумметр D. Е. Thermal conductivity gauge F. conduction thermique | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления |
| 94. Термопарный вакуумметр D. Thermokreuz Е. Thermocouple gauge F. thermocouple | Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления |
| 95. Вакуумметр сопротивления D. Thermistor-Vakuummeter Е. Thermistor gauge F. thermistance | Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа |
| 96. Термомолекулярный вакуумметр D. Molekularvakuummeter Е. Thermo-molecular gauge F. thermomoleculaire | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру |
| 97. Ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter Е. lonisation vacuum gauge F. ionisation | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления |
| 98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle Е. Radioactive ionization gauge F. source radioactive | Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников |
| 99. Магнитный электроразрядный вакуумметр D. Е. Sputter ion gauge F. ionique pulverisation | Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления |
| 100. Вакуумметр Пеннинга D. Penningvakuummeter Е. Penning gauge F. de Penning | Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами |
| 101. Электронный ионизационный вакуумметр D. Elektronenionisations Vakuummeter Е. Electronic type ionization vacuum F. ionization faisceau | Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем |
| 102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor Е. Twin-wire oscillator gauge F. oscillants | Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки |
| 103. Экстракторный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System E. Extractor gauge F. extracteur | Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации |
| 104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode E. Cold cathode magnetron gauge F. cathode froide | Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов |
| 105. Индикатор с разрядной трубкой D. E. Discharge tube indicator F. Tube | Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа |
| 106. Вакуумметр парциального давления D. Partialdruckvakuummeter E. Partial pressure vacuum gauge F. Analyseur de pressions partielles | Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры. Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы |
| 107. Масс-спектрометр D. Massenspektrometer E. Mass spectrometer F. de masse | По ГОСТ 15624-75 |
| ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ |
| 108. Диапазон измерений D. E. Pressure range F. Etendue de mesurage | По ГОСТ 16263-70*. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота |
| ________________ * На территории Российской Федерации действуют РМГ 29-99. Здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных. |
| 109. Чувствительность D. Empfindlichkeit E. Sensitivity F. | По ГОСТ 16263-70. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота |
| 110. Относительная чувствительность вакуумметра D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit E. Relative sensitivity factor F. Facteur de relative | Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения |
| 111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters E. lonization gauge coefficient F. Coefficient d'un ionisation | Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления |
| 112. Эквивалентное азотное давление D. Stickstoffaquivalentdruck E. Equivalent nitrogen pressure F. Pression d'azote | Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом |
| 113. Фоновое давление вакуумметра D. Untergrunddruck E. Background pressure F. Pression residuelle | Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления |