-32300: transport error - HTTP status code was not 200

СССР
Государственный стандарт от 01 января 1981 года № ГОСТ 16153-80

ГОСТ 16153-80 Германий монокристаллический. Технические условия (с Изменениями N 1, 2, 3, 4)

Принят
Государственным комитетом СССР по стандартам
14 марта 1980 года
Разработан
Министерством цветной металлургии СССР
01 января 1981 года
    ГОСТ 16153-80
    Группа В51
    МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
    ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
    Технические условия
    Monocrystalline germanium. Specifications
    ОКП 17 7441
    Дата введения 1981-01-01
    ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
    1.РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
    2.УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 14.03.80 N 1167
    3.ВЗАМЕН ГОСТ 16153-70
    4.ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
    Обозначение НТД, на который дана ссылка Номер пункта, подпункта, приложения
    ГОСТ 3-88 Приложение 8
    ГОСТ 61-75 Приложение 8
    ГОСТ 111-90 Приложение 8
    ГОСТ 177-88 Приложение 8
    ГОСТ 427-75 Приложение 5 и 8
    ГОСТ 577-68 Приложение 6
    ГОСТ 701-89 Приложение 5
    ГОСТ 2567-89 Приложение 5
    ГОСТ 2874-82 Приложение 3, 5 и 8
    ГОСТ 2991-85 4.4
    ГОСТ 3282-74 4.6
    ГОСТ 3560-73 4.6
    ГОСТ 4160-74 Приложение 5 и 8
    ГОСТ 4461-77 Приложение 5
    ГОСТ 5959-80 4.4
    ГОСТ 5962-67 Приложение 8
    ГОСТ 6507-90 Приложение 6
    ГОСТ 6816-79 Приложение 5
    ГОСТ 7376-89 4.4
    ГОСТ 8032-84 1.4
    ГОСТ 9078-84 4.6
    ГОСТ 9206-80 Приложение 3, 5 и 8
    ГОСТ 9293-74 Приложение 1, 6
    ГОСТ 9412-93 Приложение 5
    ГОСТ 9696-82 Приложение 2 и 6
    ГОСТ 10197-70 3.4, Приложение 2
    ГОСТ 10354-82 4.1
    ГОСТ 10484-78 Приложение 5 и 8
    ГОСТ 11109-90 Приложение 5
    ГОСТ 11125-84 Приложение 5, 8
    ГОСТ 12026-76 Приложение 5 и 8
    ГОСТ 12027-93 Приложение 2
    ГОСТ 12162-77 Приложение 1
    ГОСТ 12923-82 4.4
    ГОСТ 14192-96 4.5
    ГОСТ 20477-86 4.2
    ГОСТ 24392-80 3.4
    ГОСТ 24597-81 4.6
    ГОСТ 26327-84 Приложение 3, 5 и 8
    ГОСТ 29329-92 Приложение 5 и 8
    ТУ 25-05.2420-79 Приложение 2
    ТУ 6-09-3401-75 Приложение 3
    ТУ 6-02-570-75 Приложение 3
    ТУ 13-7308001-758-88 Приложение 2
    ТУ 6-09-3590-78 Приложение 8

    5.Ограничение срока действия снято по протоколу N 3-93 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 5-6-93)
    6.ИЗДАНИЕ с Изменениями N 1, 2, 3, 4, утвержденными в декабре 1984 г., мае 1988 г., июле 1990 г., феврале 1993 г. (ИУС 4-85, 8-88, 10-90, 9-93)
    Настоящий стандарт распространяется на монокристаллический слиток германия, применяемый для производства полупроводниковых приборов и устанавливает требования к монокристаллическому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства.
    1.ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
    1.1.Монокристаллический слиток германия изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта электронного типа электропроводности, легированные сурьмой, и дырочного типа электропроводности, легированные галлием, по технологической документации, утвержденной в установленном порядке.
    1.2.Кристаллографическая ориентация монокристаллического слитка (III).
    1.3.Предельное отклонение плоскости торцового среза монокристаллического слитка германия от плоскости ориентации (III) не должно быть более 2°.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    1.4.Монокристаллический слиток германия по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения должен соответствовать подгруппам, указанным в табл.1.
    Таблица 1
    Подгруппа по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения Допускаемое относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения, %, не более Интервал номинальных значений удельного электрического сопротивления, Ом·см
    ±25 0,1-45
    б ±20
    г ±15

    Выбор номинального значения удельного электрического сопротивления монокристаллического слитка проводят в соответствии с ГОСТ 8032 по следующим рядам:
    - для удельного электрического сопротивления от 0,1 до 1 Ом·см - 0,1; 0,12; 0,15; 0,2; 0,25; 0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0,8; 1 Ом·см;
    - для удельного электрического сопротивления от 1 до 10 Ом·см - 1,1; 1,40; 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5; 5,6; 7,1; 9 Ом·см;
    - для удельного электрического сопротивления от 10 до 45 Ом·см - 11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5; 45 Ом·см.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    1.5.Плотность дислокаций и геометрические размеры монокристаллических слитков германия должны соответствовать требованиям табл.2.
    Таблица 2
    Подгруппа по плотности дислокаций Плотность дислокаций, см, не более или в интервале Интервал значений диаметров монокристалллического слитка, мм Длина монокристалллического слитка, мм, не менее
    1 5·10 30-40 60
    2 2·10-2·10
    3 8·10

    По требованию потребителя монокристаллические слитки германия ГЭ 9 г1 изготовляют диаметром от 40 до 50 мм.
    Монокристаллические слитки германия 1 подгруппы по плотности дислокаций и с плотностью дислокаций 1·10-2·10 см подгруппы 2 по плотности дислокаций изготовляли до 01.01.91.
    (Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
    1.6.Разница между наибольшим и наименьшим диаметрами каждого монокристаллического слитка не должна быть более 4 мм.
    1.7.В монокристаллических слитках германия подгрупп 2 и 3 должна отсутствовать суммарная длина малоугловых границ длиной более среднего диаметра монокристаллических слитков.
    1.8.Подвижность основных носителей заряда в монокристаллических слитках германия в зависимости от удельного электрического сопротивления и типа электропроводности должна соответствовать нормам, указанным в табл.3.
    Таблица 3
    Интервал значений удельного электрического сопротивления Подвижность основных носителей заряда при температуре 23±2 °С, см/В·с, не менее
    электронов дырок
    От 0,1 до 0,23 включ. 1800 1300
    Св. 0,24 " 0,49 " 2300 1400
    " 0,50 " 0,89 " 2600 1500
    " 0,9 " 2,4 " 3100 1600
    " 2,5 " 5,9 " 3300 1760
    " 6,0 " 15,9 " 3400 1760
    " 16,0 " 45,0 " 3600 1760

    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    1.9.Монокристаллический слиток германия не должен иметь внешних дефектов: сколов размером более 3 мм, трещин и раковин, а также внутренних раковин и трещин, обнаруживаемых при резке монокристаллического слитка.
    1.10.Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация продольной оси монокристаллического слитка, предельное отклонение плоскости среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации (III), подвижность основных носителей заряда, плотность дислокаций для подгруппы 1 и отсутствие внутренних раковин и трещин обеспечиваются технологией изготовления.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    1.11.Коды ОКП приведены в приложении 7.
    (Введен дополнительно, Изм. N 1).
    1.12.Монокристаллические слитки германия, легированные галлием, кристаллографической ориентацией (100) изготовляются с диаметром не менее 20 мм, номинальным значением удельного электрического сопротивления 0,4 и 0,45 Ом·см, с допускаемым относительным отклонением значений удельного электрического сопротивления ±10%, плотностью дислокаций не более 10 см, плотностью дефектов недислокационного происхождения не более 10 см, длиной монокристаллического слитка 50-120 мм.
    Норма плотности дефектов недислокационного происхождения и верхняя длина монокристаллического слитка до 01.01.92 браковочными не являются.
    (Введен дополнительно, Изм. N 3).
    Примеры условного обозначения
    Монокристаллический слиток германия электронного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 14, подгрупп б и 3:
    ГЭ 14б3 ГОСТ 16153-80
    То же, дырочного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 45, подгрупп и 1:
    ГД 451 ГОСТ 16153-80
    2.ПРАВИЛА ПРИЕМКИ
    2.1.Монокристаллический германий принимают партиями. Партия должна состоять из одного монокристаллического слитка. Приемосдаточным испытаниям подвергают монокристаллический слиток, определяя: тип электропроводности; значение удельного электрического сопротивления; плотность дислокаций; наличие и суммарную длину малоугловых границ для подгрупп 2,3; геометрические размеры и отсутствие внешних дефектов; для германия с кристаллографической ориентацией (100) - плотность дефектов недислокационного происхождения.
    Определение плотности дефектов недислокационного происхождения проводят для набора статистических данных.
    Периодическим испытаниям по гарантированным параметрам (по п.1.10) подвергается один монокристаллический слиток, не реже одного раза в квартал.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    2.2.Каждый монокристаллический слиток германия сопровождается документом о качестве, который должен содержать:
    - товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;
    - наименование продукции и ее марки;
    - номер монокристаллического слитка;
    - тип электропроводности;
    - значение электрического удельного сопротивления и его отклонения от выбранного номинального значения;
    - значение средней плотности дислокаций на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка для подгруппы 2 и на нижнем торце монокристаллического слитка для подгруппы 3;
    - длину и диаметр монокристаллического слитка в миллиметрах;
    - массу нетто в граммах;
    - дату изготовления;
    - штамп технического контроля;
    - обозначение настоящего стандарта;
    - штамп органа государственной приемки (для предприятий, в которых введена госприемка).
    (Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
    3.МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ
    3.1.Проверку германия на монокристалличность проводят визуально без применения увеличительных приборов и без дополнительной обработки монокристаллических слитков.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    3.2.Тип электропроводности германия определяют на каждом из торцов монокристаллического слитка по методике, приведенной в приложении 1.
    3.3.Кристаллографическую ориентацию монокристаллических слитков и отклонение плоскости торцевого среза от плоскости ориентации (III) определяют по методикам, приведенным в приложениях 2 и 3.
    В случае разногласий в оценке качества определение проводят по рентгеновской методике (приложение 2).
    3.4.Удельное электрическое сопротивление монокристаллического слитка измеряют по ГОСТ 24392 на обоих торцах в точках, расположенных - одна в центральной и четыре в периферийной области торцов в соответствии с чертежом. Расположение зондов перпендикулярно радиусу слитка.

    Относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения удельного электрического сопротивления рассчитывают по формуле
    ,
    где - относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления от номинального значения;
    , - максимальное и минимальное значения удельного электрического сопротивления из результатов измерений в пяти точках;
    - номинальное значение удельного электрического сопротивления.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).
    3.5.Плотность дислокаций на плоскости (III) и суммарную длину малоугловых границ определяют на нижнем торце монокристаллического слитка германия по методике, приведенной в приложении 5.
    Для подгруппы 2 значение средней плотности дислокаций определяют на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка.
    (Измененная редакция, Изм. N 1, 4).
    3.6.Диаметр измеряют на двух концах и в середине монокристаллического слитка с погрешностью не более 0,5 мм, а длину - с погрешностью не более 1 мм мерительным инструментом, обеспечивающим заданную точность измерения.
    3.6.1.За диаметр некруглых в поперечном сечении монокристаллических слитков принимают среднеарифметическое измерений минимального и максимального габаритных размеров, проходящих через центр сечения монокристаллического слитка перпендикулярно оси его роста.
    3.7.Массу монокристаллического слитка определяют взвешиванием на весах с погрешностью не более ±1 г.
    3.8.Подвижность основных носителей заряда определяют на двух образцах, отрезанных от нижнего и верхнего торцов монокристаллического слитка, по методике, приведенной в приложении 6.
    3.8а. Плотность дислокаций на плоскости (100) в слитках монокристаллического германия определяют по методике, приведенной в приложении 8.
    (Введен дополнительно, Изм. N 4).
    3.9.Проверку монокристаллических слитков на отсутствие внешних дефектов проводят без применения увеличительных приборов, не применяя дополнительной обработки монокристаллических слитков.
    4.УПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ
    4.1.Каждый монокристаллический слиток германия помещают в пакет из полиэтиленовой пленки марки С по ГОСТ 10354. В пакет с монокристаллическим слитком вкладывают документ о качестве.
    4.2.Полиэтиленовый пакет заваривают или заклеивают лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или аналогичной и упаковывают в картонную или пластмассовую коробку с мягкой прокладкой. Место соединения крышки с коробкой заклеивают полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или аналогичной, либо крышку с коробкой перевязывают указанной лентой внахлестку.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    4.3.На коробку наклеивают этикетку с указанием:
    - товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;
    - наименования продукции;
    - номера документа о качестве;
    - массы нетто в граммах;
    - даты изготовления;
    - обозначения настоящего стандарта.
    4.4.Картонные или пластмассовые коробки упаковывают в деревянные дощатые ящики типа III-1 по ГОСТ 2991 или ящики из листовых древесных материалов типа III по ГОСТ 5959 и уплотняют прокладкой эластичного пенополиуретана, алигнина по ГОСТ 12923 или гофрированного картона по ГОСТ 7376.
    Масса упаковочного места должна быть не более 50 кг.
    В каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с указанием:
    - товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;
    - наименования продукции;
    - массы нетто в килограммах;
    - количества монокристаллических слитков в ящике;
    - даты упаковки;
    - фамилии и номера упаковщика.
    4.3, 4.4. (Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
    4.5.Маркировка ящиков - по ГОСТ 14192 с нанесением манипуляционных знаков:
    "Хрупкое, осторожно";

    "Беречь от влаги".
    4.6.Монокристаллический германий транспортируют железнодорожным транспортом в крытых вагонах мелкими отправками в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.
    При перевозке двух и более единиц упаковки продукции проводят пакетирование грузов на плоских универсальных поддонах по ГОСТ 9078 при помощи стальной ленты по ГОСТ 3560 или проволоки по ГОСТ 3282 диаметром не менее 5 мм.
    Габаритные размеры и масса пакета не должны превышать норм, установленных ГОСТ 24597.
    Допускается транспортирование монокристаллического германия автомобильным и авиационным транспортом в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.
    Допускается транспортирование отдельными почтовыми посылками. Масса брутто ящика посылки не должна превышать 10 кг.
    (Измененная редакция, Изм. N 1).
    4.7.Монокристаллические слитки германия должны храниться в упаковке изготовителя, в закрытых складских помещениях.
    5.ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ
    5.1.Изготовитель гарантирует соответствие монокристаллических слитков германия требованиям настоящего стандарта при соблюдении условий их хранения.
    5.2.Срок замены материала устанавливается 1 год со дня отгрузки продукции.
    (Измененная редакция, Изм. N 2).