Международный договор
Государственный стандарт от 05 апреля 2010 года № ГОСТ 8.591-2009

ГОСТ 8.591-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Принят
Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации
11 ноября 2009 года
Разработан
Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
05 апреля 2010 года,
Российским научным центром «Курчатовский институт»
05 апреля 2010 года,
Государственный образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)»
05 апреля 2010 года
    ГОСТ 8.591-2009
    Группа Т88.1
    МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
    Государственная система обеспечения единства измерений
    МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ
    Методика поверки
    State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Verification method
    МКС 17.040.01
    Дата введения 2010-11-01
    Предисловие
    Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0-92 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2009 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, принятия, применения, обновления и отмены"
    Сведения о стандарте
    1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (Россия), Федеральным государственным учреждением "Российский научный центр "Курчатовский институт" (Россия) и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (Россия)
    2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии
    3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол N 36 от 11 ноября 2009 г.)
    За принятие проголосовали:
    Краткое наименование страны по МК (ИСО 3166) 004-97 Код страны по МК (ИСО 3166) 004-97 Сокращенное наименование национального органа по стандартизации
    Армения AM Минторгэкономразвития
    Беларусь BY Госстандарт Республики Беларусь
    Казахстан KZ Госстандарт Республики Казахстан
    Кыргызстан KG Кыргызстандарт
    Молдова MD Молдова-Стандарт
    Российская Федерация RU Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
    Таджикистан TJ Таджикстандарт
    Узбекистан UZ Узстандарт
    Украина UA Госпотребстандарт Украины

    4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. N 55-ст
    5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
    Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта публикуется в указателе "Национальные стандарты".
    Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе "Национальные стандарты", а текст изменений - в информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована в информационном указателе "Национальные стандарты"
    якорь
    1 Область применения
    Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее - рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м.
    Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
    якорь
    2 Нормативные ссылки
    В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные стандарты:
    ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
    ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения
    ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
    ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
    Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
    якорь
    3 Термины и определения
    В настоящем стандарте применены термины по РМГ 29 [1], а также следующие термины с соответствующими определениями.
    3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
    3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.
    3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.
    3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
    Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.
    3.5 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью [1].
    3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
    Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.
    3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10 м.
    3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.
    3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.
    3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда микроскопа над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемещение исследуемого объекта под зондом) с одновременной регистрацией информативного сигнала.
    3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из строк по пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
    Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.
    3.12 видеопрофиль (информативного сигнала): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.
    3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.
    Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
    3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.
    якорь
    4 Операции и средства поверки
    4.1 При проведении первичной и периодических поверок рельефной меры должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
    Таблица 1 - Операции и применяемые средства поверки
    Наименование операции Номер подраздела настоящего стандарта Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики
    Внешний осмотр 8.1 Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400)
    Опробование 8.2 Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп. Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400). Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10%. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад.
    Определение метрологических характеристик 8.3 Атомно-силовой микроскоп. Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400). Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10%. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад. Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями не более: - температуры окружающей среды - ±0,2 °С; - относительной влажности воздуха - ±3%; - атмосферного давления - ±130 Па

    4.2 Допускается применять другие средства поверки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.
    якорь
    5 Требования к квалификации поверителей
    Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.
    Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее - АСМ) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.
    якорь
    6 Требования безопасности
    6.1 При поверке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности, требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061.
    6.2 Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.
    якорь
    7 Условия поверки и подготовка к ней
    7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
    - температура окружающей среды (20±3)°С;
    - относительная влажность воздуха не более 80%;
    - атмосферное давление (100±4) кПа;
    - напряжение питающей сети (220±22) В;
    - частота питающей сети (50,0±0,4) Гц.

    Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать указанных в приложении А.
    7.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам с размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1.
    7.3 Перед началом поверки рельефных мер необходимо подать напряжение питания на основные средства поверки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.
    якорь
    8 Проведение поверки
    8.1 Внешний осмотр
    8.1.1 При внешнем осмотре поверяемой рельефной меры должно быть установлено:
    - соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;
    - отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры.
    8.1.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают меру на рабочий стол АСМ.
    При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
    - параллельность плоскости, образованной геометрической формой элемента рельефа меры, направлению горизонтального перемещения рабочего стола АСМ;
    - плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ.
    8.1.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной меры должна быть однородной, при этом примерно на 75% поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.
    8.2 Опробование
    8.2.1 С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд АСМ в положение, соответствующее началу сканирования поверяемого элемента рельефной меры.
    Начальное положение определяют следующим образом: зонд АСМ устанавливают на плоскость нижнего основания на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20% и не более 50% ширины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда АСМ при сканировании.
    8.2.2 На неподвижном элементе в камере образцов АСМ устанавливают зеркало лазерного интерферометра, предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе АСМ - другое зеркало для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр (далее - горизонтальный лазерный интерферометр) располагают вдоль оси, совпадающей с горизонтальным направлением сканирования (далее - ось абсцисс).
    Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов АСМ. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного (на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера АСМ в вертикальном направлении сканирования (далее - ось ординат).
    Второй лазерный интерферометр (далее - вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают соответственно расположению зеркал.
    Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Для каждого интерферометра необходимо также обеспечить взаимную параллельность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера АСМ в процессе сканирования поверяемого элемента. Допустимый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превышать 1'.
    Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позволяет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеопрофиля элемента и, одновременно с этим, регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера двумя лазерными интерферометрами.
    8.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации АСМ проводят пробное сканирование поверяемого элемента рельефа.
    При этом предварительно:
    - выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкцией по эксплуатации применяемых лазерных интерферометров;
    - путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании элемента рельефа;
    - в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;
    - устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интерферометров в "нулевое" положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.
    8.3 Определение метрологических характеристик
    8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
    8.3.2 В соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров проводят сканирование выступа поверяемого элемента рельефной меры. Одновременно с помощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола АСМ и вертикального перемещения Z-сканера АСМ.
    Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда АСМ приведены на рисунке 1.
    якорь
    Рисунок 1 - Сечение поверяемого элемента рельефной меры

    - ширина нижнего основания выступа; - ширина верхнего основания выступа; - высота выступа; - значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
    Рисунок 1 - Сечение поверяемого элемента рельефной меры
    Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, изображен на рисунке 2.
    якорь
    Рисунок 2 - Видеопрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1

    - точка на видеопрофиле, соответствующая начальному положению зонда АСМ при сканировании; - точка на видеопрофиле, соответствующая конечному положению зонда при сканировании; - высота выступа, измеренная по видеопрофилю; - разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая величине горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю
    Рисунок 2 - Видеопрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры, приведенного на рисунке 1 (направление сканирования - слева направо)
    8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.
    8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.
    8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
    8.4 Оформление протокола поверки
    Результаты измерений параметров рельефной меры по 8.3.2-8.3.4 и указанных на рисунке 2 оформляют в виде протокола. В протоколе также приводят значения условий проведения поверки до начала и после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.
    Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами поверки должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры.
    якорь
    9 Обработка результатов измерений
    9.1 Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола АСМ при сканировании поверяемого элемента рельефа
    Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола , нм, от начального до конечного положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
    , (1)
    где - длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
    - фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;
    - показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
    9.2 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс
    Масштабный коэффициент видеоизображения , нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют по формуле
    , (2)
    где - перемещение подвижной части рабочего стола АСМ при горизонтальном сканировании, вычисленное по 9.1, нм;
    - разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю (см. рисунок 2), пиксель.
    9.3 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании поверяемого элемента рельефа
    Вертикальное перемещение Z-сканера АСМ , нм, при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
    , (3)
    где - длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;
    - фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4, рад;
    - показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
    9.4 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа
    Значение высоты выступа в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера , вычисленному по 9.3.
    9.5 Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основания выступа поверяемого элемента рельефа
    При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа используют вспомогательную величину, для вычисления которой:
    - вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на рисунке 2, результат такого вычисления приведен на рисунке 3;
    - проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисляют значение вспомогательной величины в пикселях, которая равна разности соответствующих абсцисс точек, как показано на рисунке 3.
    якорь
    Рисунок 3 - Графическое изображение первой производной видеопрофиля по координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола АСМ

    - ось абсцисс по 8.2.2; , - начальная и конечная точки положения зонда АСМ при сканировании поверяемого элемента, расположенные в соответствии с требованиями по 8.2.1; - ось ординат по значению производной величины видеосигнала по координате
    Рисунок 3 - Графическое изображение первой производной видеопрофиля по координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола АСМ
    9.6 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа
    Ширину верхнего основания выступа , нм, вычисляют по формуле
    , (4)
    где - масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2, нм/пиксель;
    - вспомогательная величина, вычисленная по 9.5, пиксель.
    9.7 Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа
    Ширину нижнего основания трапецеидального выступа , нм, вычисляют по формуле
    , (5)
    где - ширина верхнего основания поверяемого выступа, вычисленная по 9.6, нм;
    - высота поверяемого выступа, вычисленная по 9.4, нм.
    9.8 Вычисление проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
    Проекцию наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа , нм, вычисляют по формуле
    , (6)
    где - высота выступа, вычисленная по 9.4, нм.
    9.9 Погрешность измерений
    Абсолютные погрешности измерений значений , , и поверяемого элемента рельефной меры не превышают 0,8 нм при условии использования средств поверки, обеспечивающих погрешности измерений не хуже указанных в 4.1.
    якорь
    10 Оформление результатов поверки
    10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.
    10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений, приведенные в подразделе 9.9 настоящего стандарта.
    якорь
    Приложение А (справочное). Вычисление показателя преломления воздуха
    Приложение А
    (справочное)
    А.1 Исходные данные
    При вычислении показателя преломления воздуха исходными данными являются следующие параметры окружающей среды:
    - температура , °C;
    - атмосферное давление , Па;
    - относительная влажность , %.
    Параметры окружающей среды измеряют до начала и после окончания измерений, при этом разность показаний должна быть не более:
    - температуры окружающей среды ±1 °С;
    - атмосферного давления ±300 Па;
    - относительной влажности воздуха ±10%.

    А.2 Константы для вычисления показателя преломления воздуха
    При вычислениях используют константы, приведенные в таблице А.1.
    Таблица А.1 - Константы для вычисления показателя преломления воздуха
    Обозначение константы Значение
    А 8342,54
    В 2406147
    С 15998
    D 96095,43
    E 0,601
    F 0,00972
    G 0,003661
    - -

    А.3 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.1)
    где , - значения длин волн излучения в вакууме гелий-неоновых лазеров по 9.1 и 9.3, нм, соответственно.
    А.4 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.2)
    где , , - константы по А.2;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.3.
    А.5 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.3)
    где , , - константы по А.2;
    - температура окружающей среды, °С;
    - атмосферное давление, Па.
    А.6 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (A.4)
    где - атмосферное давление, Па;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.4;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.5;
    - константа по А.2.
    А.7 Вычисление парциального давления паров воды
    Парциальное давление паров воды , Па, вычисляют по формуле
    , (А.5)
    где - относительная влажность воздуха, %;
    - давление насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды , вычисленное по А.8-А.14, Па.
    А.8 Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара
    Для вычисления давления насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды , °C, используют константы, приведенные в таблице А.2.
    Таблица А.2 - Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара
    Обозначение константы Значение
    1167,05214528
    -724213,167032
    -17,0738469401
    12020,8247025
    -3232555,03223
    14,9151086135
    -4823,26573616
    405113,405421
    -23,8555575678
    650,175348448

    А.9 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.6)
    где - температура окружающей среды, °С;
    , - константы по А.8.
    А.10 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.7)
    где - вспомогательная величина, вычисленная по А.9;
    , - константы по А.8.
    А.11 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (А.8)
    где , , - константы по А.8;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.9.
    А.12 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (A.9)
    где , , - константы по А.8;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.9.
    А.13 Вычисление вспомогательной величины
    Вспомогательную величину вычисляют по формуле
    , (A.10)
    где - вспомогательная величина, вычисленная по А.11;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.10*;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.12.
    _______________
    * Соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.
    А.14 Вычисление давления насыщенного водяного пара
    Давление насыщенного водяного пара , Па, вычисляют по формуле
    , (A.11)
    где - вспомогательная величина, вычисленная по А.12;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.13.
    А.15 Вычисление показателя преломления воздуха
    Показатель преломления воздуха вычисляют по формуле
    , (A.12)
    где - вспомогательная величина, вычисленная по А.6;
    - вспомогательная величина, вычисленная по А.3;
    - парциальное давление паров воды, вычисленное по А.7, Па;
    - температура окружающей среды, °С.
    якорь
    Библиография
    [1] РМГ 29-99 Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и определения